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通過結(jié)束帶裝置和導(dǎo)管附著可以簡單地安裝。 ? 在易談的價(jià)格下裝置,可為設(shè)備改善時(shí)的成本降低作出貢獻(xiàn)。 ? 厚10mm的薄形管。由于可以密封安裝，所以可以檢測(cè)出Z小4mm的位差。 ? 即使在可然性氣體中也可使用。

采用了耐藥品、耐油性都很優(yōu)秀的特氟龍(PFA) ? 能夠民晶圓片洗凈槽的硫酸等高溫液體的檢測(cè)相對(duì)應(yīng)。(-40 ~ +200℃) ? 實(shí)現(xiàn)了0.5mm的高重復(fù)精度。 ? 采用了防止液體的結(jié)構(gòu)。

仿晶園片也能穩(wěn)定檢測(cè) 增加了示教功能 防止靜電產(chǎn)生的誤差

不易受到玻璃端面處理狀態(tài)的影響。 ? 即使玻璃基板在盒內(nèi)動(dòng)蕩也無影響，可穩(wěn)定地檢測(cè)出。

安全性能勝過激光型，且降低了成本。 ? 使用了可清楚辨明光點(diǎn)位置的紅色點(diǎn)光源LED。 光點(diǎn)直徑：φ1.2mm(檢測(cè)距離：120mm、代表例)使用turbo功能更加鮮明。 ? 使用耐曲折導(dǎo)線可放心地安置于可動(dòng)部，也可彎曲。 ? 0.1ms超高速應(yīng)答。